- 产品描述
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测试
台阶仪（表面轮廓仪）
Surface Profiler
型 号：美国KLA D600
功 能：在探针允许范围内，实现台阶与沟道
深度测量、各类沉积薄膜厚度测量和表面粗糙度测量。
工 程 师：周爱文/
设备地点：薄膜I区
设备编号：
设备基本信息
主要用途：
主要用于台阶或沟道深度测量、表面粗糙度测量。
工艺/测试能力：
可用于测量台阶高度、薄膜表面粗糙度等，涵盖了从半导体湿法、光刻（图形化）、
薄膜生长与刻蚀、封装等各个工艺流程中的薄膜与图形表征。
技术指标：
1. 基片尺寸：支持8英寸以下或破片；
2.台阶高度：几纳米至1200μm；
3. 低触力：0.03至15mg；
设备工作原理
探针与样品直接接触并在样品表面移动，探针通过接触样品表面，并随着表面起伏垂直上下移动，
台阶仪通过检测探针的垂直位移来测量样品的表面形貌，探针的横向移动由高精度的电机控制，表
面轮廓数据由探针的垂直移动产生并记录。
典型使用案例
对大部分的液体材料，通过对介电常数的精准测蛋来获得其组分信息、结构信息和极化机理,相对于基于光学的光谱测蛋表征，最近已经变得越来被流行。尤其对于天然的混合物，如牛奶、果汁、谷物和一些软组织等，介电常数测蛋表征的优势更加突出。
基于国产DDR3管芯的SiP 级封装产品，封装尺寸8.5mmx 10mm。产品电气特性符合JESD79-3F DDR3 SDRAM标准。内部合封16位DDR3/3L裸芯片2颗、端接电阻、电容组成32位存储芯片。产品设计符合工业级标准，可以广泛应用于数据缓存、数据处理。
致力于异质异构集成，毫米波射频测试、EDA及人工智能综合服务
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